歐姆龍研發(fā)了一款新型壓力傳感器，壓力傳感器應(yīng)用了歐姆龍核心技術(shù)之一的MEMS技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了世界頂級(jí)水平的高精度和低電流消耗,其特點(diǎn)主要在于以下幾個(gè)方面:

2SMPP-02性能偏差小的MEMS壓力傳感器

1、超小型、低功耗的MEMS表壓傳感器

2、長(zhǎng)6.1mm×寬4.7mm×高8.2mm的超小型。

3、比電容式壓力傳感器更優(yōu)異的電氣特性。

4、測(cè)量壓力范圍為0～37kPa。
5、偏置電壓：-2.5±4mV
6、量程電壓：31.0±3.1mV

7、0.2mW的低功耗。

8、受溫度影響小。
9、量程電壓：±1.0 %F.S.

10、偏置電壓：±3.0%F.S.

 一、檢測(cè)原理:MEMS絕對(duì)壓力傳感器采用了針對(duì)血壓計(jì)中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式，是使用了通過(guò)加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應(yīng)，通過(guò)這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號(hào)。 并且，為了測(cè)定大氣壓力變化，絕對(duì)壓力傳感器采用MEMS接合技術(shù)，將傳感器芯片的內(nèi)部進(jìn)行真空密封。因此，能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值，也就是絕對(duì)壓力值。

二、技術(shù)特長(zhǎng)該傳感器，歐姆龍長(zhǎng)年研發(fā)的各種技術(shù)功能集中在一個(gè)芯片中，包括半導(dǎo)體回路設(shè)計(jì)技術(shù)、CMOS工藝技術(shù)、MEMS技術(shù)、壓力傳感器、模擬增幅回路、數(shù)字處理回路、不揮發(fā)性存儲(chǔ)等。因此，實(shí)現(xiàn)了芯片的小型化、高機(jī)能化、耐噪性能的提升。 此外，該傳感器使用MEMS接合技術(shù)，可擴(kuò)大傳感器芯片內(nèi)部的真空室容量，將傳感器的輸入動(dòng)態(tài)范圍最大化。從而實(shí)現(xiàn)高精度。

結(jié)果能夠達(dá)到50cm的判別。

■傳感器外觀