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行業(yè)新聞

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歐姆龍新型壓力傳感器檢測原理技術(shù)

文章來源: 東莞市潺林電子有限公司人氣:2359發(fā)表時(shí)間:2017-09-25 14:38:51

歐姆龍研發(fā)了一款新型壓力傳感器,壓力傳感器應(yīng)用了歐姆龍核心技術(shù)之一的MEMS技術(shù),實(shí)現(xiàn)了世界頂級(jí)水平的高精度和低電流消耗,其特點(diǎn)主要在于以下幾個(gè)方面:


2SMPP-02性能偏差小的MEMS壓力傳感器

1、超小型、低功耗的MEMS表壓傳感器

2、長6.1mm×寬4.7mm×高8.2mm的超小型。

3、比電容式壓力傳感器更優(yōu)異的電氣特性。

4、測量壓力范圍為0~37kPa。
5、偏置電壓:-2.5±4mV
6、量程電壓:31.0±3.1mV

7、0.2mW的低功耗。

8、受溫度影響小。
9、量程電壓:±1.0 %F.S.

10、偏置電壓:±3.0%F.S.


 一、檢測原理:MEMS絕對壓力傳感器采用了針對血壓計(jì)中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式,是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應(yīng),通過這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號(hào)。 并且,為了測定大氣壓力變化,絕對壓力傳感器采用MEMS接合技術(shù),將傳感器芯片的內(nèi)部進(jìn)行真空密封。因此,能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值,也就是絕對壓力值。

二、技術(shù)特長該傳感器,歐姆龍長年研發(fā)的各種技術(shù)功能集中在一個(gè)芯片中,包括半導(dǎo)體回路設(shè)計(jì)技術(shù)、CMOS工藝技術(shù)、MEMS技術(shù)、壓力傳感器、模擬增幅回路、數(shù)字處理回路、不揮發(fā)性存儲(chǔ)等。因此,實(shí)現(xiàn)了芯片的小型化、高機(jī)能化、耐噪性能的提升。 此外,該傳感器使用MEMS接合技術(shù),可擴(kuò)大傳感器芯片內(nèi)部的真空室容量,將傳感器的輸入動(dòng)態(tài)范圍最大化。從而實(shí)現(xiàn)高精度。


三、測定結(jié)果


結(jié)果能夠達(dá)到50cm的判別。


■傳感器外觀